本設(shè)備的爐管兩端分別安裝有進料進氣真空腔室和出料排氣真空腔室（即收放銅箔的密封裝置），收放銅箔的密封裝置內(nèi)分別對應安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，進料進氣真空腔室與爐體之間安裝有射頻等離子體發(fā)生器，出料排氣腔體與爐體之間安裝有風冷裝置。相對于現(xiàn)有技術(shù)具有快速冷卻、連續(xù)生長的優(yōu)點，可以進行大面積、高質(zhì)量石墨烯的規(guī)模化生長。