1.分辨率: SE 3nm@30KV； BSE 6nm@30KV

2.放大倍率: 8倍～300000 倍 (底片放大)

3.電子槍: 翻開式預對中鎢絲陰極

4.加速電壓: 0～30kV連續可調，0-10kV步進量為100V，10kV以上步進量為1kV

5.具有一鍵看像功能

6.透鏡系統: 三級高性能錐形透鏡系統

7.物鏡光闌：三個可在真空外調節，無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌

8.真空系統： 1個渦輪分子泵，1個機械泵； 樣品室真空優于2.6E-3 Pa ，全自動真空控制，具有真空互鎖功能

9.探測器標準配置

10.高真空二次電子探測器

11.四分割半導體BSE探測器

12.紅外CCD攝像頭

13.樣品室提供3個可擴展接口，可接 WDS、EDS、BSE 等多種附件和探測器

14.樣品臺配置（可二選其一）

15.標準樣品臺（手動）

16.行程： X=80mm,Y=60mm,Z=50mm，T=-5°～+90°,R=360°

17.最大樣品直徑: Ф175mm；最大樣品高度：40mm

18.五軸全自動臺中型樣品臺

19.行程： X=80mm,Y=50mm,Z=30mm，T=-5°～+70°,R=360°

20.最大樣品直徑: Ф175mm；最大樣品高度：20mm

21.注：所有規格樣品室均具有防碰撞報警功能