1.分辨率: SE 1.0nm@30KV; SE 3.0nm@1KV ; BSE 2.5nm@30KV

2.放大倍率: 6倍-1000000 倍 (底片放大)

3.電子槍: Schottky 肖特基場發射電子槍

4.加速電壓: 0～30kV

5.透鏡系統: 多級高性能透鏡系統，低像差錐形物鏡

6.物鏡光闌：三個可在真空外調節，無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌

7.真空系統： 1個濺射離子泵+1個吸氣劑離子復合泵，1個渦輪分子泵，1個機械泵；樣品室真空優于6E-4 Pa ，電子槍倉真空優于2E-7 Pa。全自動真空控制，具有真空互鎖功能 

8.探測器標準配置：高真空二次電子探測器；紅外CCD攝像頭

9.樣品室提供5個可擴展接口，可以外接 WDS、EDS、BSE、EBSD 等多種附件和探測器

10.五軸全自動大樣品臺

11.行程： X=150mm,Y=150mm,Z=60mm，T=-5°～+70°,R=360°

12.最大樣品直徑: Ф340mm；最大樣品高度：50mm

13.注：均具有防碰撞報警功能