1.采用單片機(jī)單片機(jī)作為處理器，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，擴(kuò)展性好，可為用戶進(jìn)行定制化開發(fā)；

2.5.1英寸觸摸操作液晶顯示屏，可現(xiàn)實(shí)設(shè)定濺射電流、濺射時(shí)間，工作濺射電流、剩余濺射時(shí)間等參數(shù)；

3.濺射電流可在5-45mA內(nèi)隨意調(diào)節(jié)，最小步長(zhǎng)為1mA；

4.濺射真空度獨(dú)立控制，與濺射電流無(wú)關(guān)，且最小調(diào)節(jié)量0.1Pa；

5.系統(tǒng)提供金、鉑對(duì)于空氣和氬氣的工作參數(shù)，可直接使用。同時(shí)提供3種自定義靶材，用戶可根據(jù)自己需求設(shè)定工作參數(shù)；

6.濺射時(shí)間設(shè)定范圍為1-600秒，最小調(diào)節(jié)量為1秒；

7.具備濺射電流、真空度雙重互鎖，安全可靠，任一調(diào)節(jié)觸發(fā)，系統(tǒng)即可停止工作，防止因?yàn)檎`操作導(dǎo)致設(shè)備損壞；

8.極限真空優(yōu)于1Pa，真空泵抽速為1L/s；

9.系統(tǒng)具備實(shí)時(shí)曲線顯示濺射電流和真空度功能、屏幕亮度調(diào)節(jié)功能、系統(tǒng)工作時(shí)間和靶材使用時(shí)間顯示等功能，非常方便用戶了解系統(tǒng)工作狀態(tài)。