進口品牌渦輪分子泵和無油隔膜泵的完美配合產生一個潔凈的<3*10-6 Torr的真空壓強。特別適用于TEM 樣品桿的真空存儲、檢漏和樣品等離子體清洗用途。采用遠程射頻離子源清洗，高效、低等離子體轟擊損傷。標配兩路清洗氣體流量控制器，觸摸屏控制，即插即用。