低溫真空泵（又稱低溫泵、冷泵）是一種利用低溫冷凍和低溫吸附原理抽氣的容積式真空泵，是無油高真空環(huán)境獲得設(shè)備。

低溫泵適合應(yīng)用于要求潔凈無油、快速抽氣超高真空的場景，主要用于濺射鍍膜設(shè)備、蒸發(fā)鍍膜設(shè)備、離子注入設(shè)備、分子束外延設(shè)備、空間模擬裝置、高能物理研究裝置、加速器束流管、超高真空裝置等應(yīng)用場合。