光學顯微鏡和原子力顯微鏡一體式設計，光電控制一體化；

同時具備光學和原子力顯微鏡成像功能，兩者可同時掃描成像，互不影響；

同時具備光學二維測量和原子力顯微鏡三維測量功能；

采用了垂直光路設計，配合氣液兩用型探針架可同時在空氣或液體中使用；

利用了高倍光學定位系統(tǒng)，實現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位；

簡易的激光光斑調節(jié)方式，可通過光學CCD窗口實時觀測及調節(jié)光斑；

單軸驅動樣品自動垂直接近探針，準確定位掃描區(qū)域，使針尖垂直于樣品掃描；

馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品；

需配備氣浮式防震臺（選購），抗干擾能力強，不影響儀器使用操作；

集成掃描器硬件非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優(yōu)于98%。