氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場合有微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。具有小巧緊湊的外形，可獨(dú)立運(yùn)行，內(nèi)置RS-485總線接口。