1.轉速可控范圍：100-12000RPM，轉速分辨率：1RPM

2.最大單步步長3000S，旋轉時間分辨率0.1S

3.加速度可控范圍：100-30000RPM/S

4.可處理碎片(小于1cm)至6英寸(150mm)圓晶底物

5.4.3寸全彩觸摸屏，提供觸屏筆操作，中英文界面可選

6.可進行多步程序運行，最多可存貯10組10步程序

7.HDPE高分子耐腐蝕、易清潔內腔，帶排廢功能

8.SUS耐腐蝕不銹鋼機身，耐溶劑性PC透明蓋子

9.帶一只自動點膠端口，可升級自動點膠功能

10.100W直流無刷電機，寬電壓適用：AC100-230V輸入

11.帶真空和蓋子開關互鎖功能，確保操作安全

12.標配三種規格鋁合金真空載物盤（直徑10mm、25mm、55mm）

13.防堵膠功能設計，真空通道進膠安全保護功能

14.外形尺寸：256(W)*358(D)*258(H)