1.采用單片機單片機作為處理器，具有自主知識產權，擴展性好，可為用戶進行定制化開發；

2.5.1英寸觸摸操作液晶顯示屏，可現實設定濺射電流、濺射時間，工作濺射電流、剩余濺射時間等參數；

3.濺射電流可在5-45mA內隨意調節，最小步長為1mA；

4.濺射真空度獨立控制，與濺射電流無關，且最小調節量0.1Pa；

5.系統提供金、鉑對于空氣和氬氣的工作參數，可直接使用。同時提供3種自定義靶材，用戶可根據自己需求設定工作參數；

6.濺射時間設定范圍為1-600秒，最小調節量為1秒；

7.具備濺射電流、真空度雙重互鎖，安全可靠，任一調節觸發，系統即可停止工作，防止因為誤操作導致設備損壞；

8.極限真空優于1Pa，真空泵抽速為1L/s；

9.系統具備實時曲線顯示濺射電流和真空度功能、屏幕亮度調節功能、系統工作時間和靶材使用時間顯示等功能，非常方便用戶了解系統工作狀態。

1.分辨率: SE 3nm@30KV； BSE 6nm@30KV

2.放大倍率: 8倍～300000 倍 (底片放大)

3.電子槍: 翻開式預對中鎢絲陰極

4.加速電壓: 0～30kV連續可調，0-10kV步進量為100V，10kV以上步進量為1kV

5.具有一鍵看像功能

6.透鏡系統: 三級高性能錐形透鏡系統

7.物鏡光闌：三個可在真空外調節，無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌

8.真空系統： 1個渦輪分子泵，1個機械泵； 樣品室真空優于2.6E-3 Pa ，全自動真空控制，具有真空互鎖功能

9.探測器標準配置

10.高真空二次電子探測器

11.四分割半導體BSE探測器

12.紅外CCD攝像頭

13.樣品室提供3個可擴展接口，可接 WDS、EDS、BSE 等多種附件和探測器

14.樣品臺配置（可二選其一）

15.標準樣品臺（手動）

16.行程： X=80mm,Y=60mm,Z=50mm，T=-5°～+90°,R=360°

17.最大樣品直徑: Ф175mm；最大樣品高度：40mm

18.五軸全自動臺中型樣品臺

19.行程： X=80mm,Y=50mm,Z=30mm，T=-5°～+70°,R=360°

20.最大樣品直徑: Ф175mm；最大樣品高度：20mm

21.注：所有規格樣品室均具有防碰撞報警功能

1.分辨率: SE 1.0nm@30KV; SE 3.0nm@1KV ; BSE 2.5nm@30KV

2.放大倍率: 6倍-1000000 倍 (底片放大)

3.電子槍: Schottky 肖特基場發射電子槍

4.加速電壓: 0～30kV

5.透鏡系統: 多級高性能透鏡系統，低像差錐形物鏡

6.物鏡光闌：三個可在真空外調節，無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌

7.真空系統： 1個濺射離子泵+1個吸氣劑離子復合泵，1個渦輪分子泵，1個機械泵；樣品室真空優于6E-4 Pa ，電子槍倉真空優于2E-7 Pa。全自動真空控制，具有真空互鎖功能 

8.探測器標準配置：高真空二次電子探測器；紅外CCD攝像頭

9.樣品室提供5個可擴展接口，可以外接 WDS、EDS、BSE、EBSD 等多種附件和探測器

10.五軸全自動大樣品臺

11.行程： X=150mm,Y=150mm,Z=60mm，T=-5°～+70°,R=360°

12.最大樣品直徑: Ф340mm；最大樣品高度：50mm

13.注：均具有防碰撞報警功能