基于經典基片彎曲法Stoney公式測量原理，采用先進控制技術和傻瓜化的操作，使得FST1000薄膜應力測量儀特別適合于要求快速測量常規薄膜殘余應力需求。

采用無油隔膜泵產生一個潔凈的100 Pa量級的真空，通常抽真空時間小于30s。特別適用于TEM 透射電鏡樣品桿的日常真空儲存或除水汽。

進口品牌渦輪分子泵和無油隔膜泵的完美配合產生一個潔凈的<3*10-6 Torr的真空壓強。特別適用于TEM 樣品桿的真空存儲、檢漏和樣品等離子體清洗用途。采用遠程射頻離子源清洗，高效、低等離子體轟擊損傷。標配兩路清洗氣體流量控制器，觸摸屏控制，即插即用。

采用進口品牌高性能旋片泵產生一個潔凈的<1 Pa的真空壓強，采用高品質恒功率RF射頻電源，確保工藝重復性。感應射頻等離子體放電模式也有利于降低樣品的熱影響和離子轟擊損傷。特別適用于對溫度敏感的樣品等離子體清洗、表面活化等用途。主要應用于生物冷凍電鏡微柵碳膜親水活化處理。

進口品牌高性能旋片泵產生一個潔凈的<1 Pa的真空壓強，采用高品質恒功率磁控濺射電源，確保恒定沉積速率。磁控陰極的使用也有效減少等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷。特別適用于追求更高分辨率SEM樣品及溫度敏感樣品的噴金。原位等離子清洗源（選配件），用于清洗SEM樣品表面有機污染物，同時有等離子活化作用，使噴金顆粒度更加細膩。