快速熱處理退火爐簡稱 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），在吸收了國際先進(jìn)生產(chǎn)制造工藝的基礎(chǔ)上自主研發(fā)了該款產(chǎn)品，擁有獨(dú)立的發(fā)明專利。該設(shè)備不但擁有極快的升溫速率 500℃/S，而且在燒結(jié)工藝運(yùn)行完結(jié)，直接將試樣在高溫區(qū)取出。實(shí)現(xiàn)物理狀態(tài)下的最快降溫。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝，在綠色節(jié)能環(huán)保的基礎(chǔ)上真正的實(shí)現(xiàn)了試樣的極速升降溫！腔體采用了獨(dú)有進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，內(nèi)管進(jìn)氣，外管出氣，使得反應(yīng)氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。是 CVD 法生長大尺寸二維石墨烯的利器。測(cè)溫元件直接和試樣接觸，保證試樣溫度的精準(zhǔn)性