化學氣相沉積系統(CVD)主要通過微波或射頻的方法將目標氣體電離，產生化學反應，從而在基片上沉積出所需要的薄膜產品。卓聚科技研發的CVD系統能在無催化劑的情況下生長高質量的石墨烯材料，并精確控制其生長層數，這種高精度的材料區別于一般工業生產的石墨烯薄膜，可應用于微電子產品及生物醫藥領域。