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展位號:K12
地址: 上海市徐匯區虹梅路2007號6號樓3樓
網址: http://www.auniontech.com
多波長橢偏儀
多波長橢偏儀FS-1擅長測量透明薄膜的厚度和折射率。相比于單波長橢偏儀,多波長橢偏儀可測定薄膜厚度,對于透明薄膜測量厚度至少可達5μm,不存在厚度周期性問題;可確定樣品其它其它參數特性例如薄膜粗糙度、多層膜厚度等;對數據分析提供檢測依據,一個良好的分析模型應該適用于不同波長的數據;對于薄的薄膜(<20nm)多波長橢偏儀提供的數據信息量可以與光譜橢偏儀相媲美。
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