●適用領(lǐng)域：光伏產(chǎn)業(yè)、平板顯示器行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、化工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室、科研、制造業(yè)等

●適用工藝：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴(kuò)散、等離子體聚合濺射、反應(yīng)濺射等

●全數(shù)字控制，高穩(wěn)定度和高可靠性

●進(jìn)線具有APFC模塊，提高輸入側(cè)功率因數(shù)，降低諧波

●優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，功率密度大

●高亮LCD顯示，操作直觀

●穩(wěn)定可靠的功放和直流控制模塊

●連續(xù)、脈沖輸出模式

●駐波1.5時仍能輸出額定功率

●三個可編程模擬量輸出

●完善的保護(hù)功能