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RF射頻電源
●適用領(lǐng)域:光伏產(chǎn)業(yè)、平板顯示器行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、化工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室、科研、制造業(yè)等
●適用工藝:等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴(kuò)散、等離子體聚合濺射、反應(yīng)濺射等
●全數(shù)字控制,高穩(wěn)定度和高可靠性
●進(jìn)線具有APFC模塊,提高輸入側(cè)功率因數(shù),降低諧波
●優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),功率密度大
●高亮LCD顯示,操作直觀
●穩(wěn)定可靠的功放和直流控制模塊
●連續(xù)、脈沖輸出模式
●駐波1.5時仍能輸出額定功率
●三個可編程模擬量輸出
●完善的保護(hù)功能