1.轉(zhuǎn)速范圍：100-9999RPM，轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM

2.最大單步步長3000S，旋轉(zhuǎn)時間分辨率1S

3.加速度可控范圍：100-9999RPM/S

4.可處理碎片(小于1cm)至4英寸(100mm)圓晶底物

5.液晶文本顯示，可提供中英文操作界面，簡單易用

6.快速運行和程控運行可選，最多5組5步的程控操作模式

7.75W直流無刷電機，寬電壓適用：AC100-230V輸入

8.標(biāo)配三種規(guī)格鋁合金真空載物盤（直徑10mm、25mm、55mm）

9.鋁合金著色氧化外殼，耐腐蝕開模內(nèi)腔

10.外型尺寸：210(W)*265(D)*213(H)