一、產品概述

1、適用：大專院校、科研院所及企業進行薄膜新材料的科研與小批量制備。

2、產品特點/用途：

? 設備一體化設計，占地面積小，價格優惠，性能穩定，使用維護成本低；

? 設備配備4～6組蒸發源，兼容有機蒸發與無機蒸發，多元共蒸獲得復合膜/分蒸獲得多層膜，功能強大，性能穩定；

? 適用于實驗室制備金屬單質膜、半導體膜、有機膜，也可用于生產線前期工藝試驗等；

? 適用于蒸發鍍膜與手套箱環境有機融合，實現蒸鍍、封裝、測試等工藝無縫對接，廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池/OPV有機太陽能電池及OLED薄膜等研究系統等。

 

二、技術參數

型號：ZHDS400

鍍膜方式：多源蒸發鍍膜

真空腔室結構：方箱式前后開門；配置手套箱

真空腔室尺寸：L400×W440×H450mm

加熱溫度：室溫～300℃

旋轉基片臺：120mm×120mm

基片臺升降：手動調節升降高度0～80mm

膜厚不均勻性：≤±5.0%

蒸發源：2組金屬源，2～4組有機源

控制方式：PLC/PC自動控制系統可選

占地面積：主機L1100×W780×H1800mm，手套箱尺寸定制

總功率：≥10KW