MKS MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導體生產工藝控制和監控，氣體純度和組成分析，環境有毒有害氣體監視和工業尾氣監視. 傅利葉變換紅外光譜分析儀能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準光譜，故省出了氣體筒的成本。