Exhibitor search
蘇州原位芯片科技有限責任公司成立于2015年，由清華大學和中科院微電子專業人士共同創立，并獲得國內頂尖VC機構千萬級投資。公司專注于新型MEMS芯片與模組的研發、生產和銷售。掌握40多項領先MEMS技術，擁有芯片設計、工藝開發、流片生產和測試的全流程自主研發、自主生產能力。
MEMS芯片憑借高精度、低成本、體積小的特點，擁有千億級的廣闊市場空間，公司已推出多款打破國外壟斷產品，其中自主研發的氮化硅薄膜窗口產品憑借優異的薄膜潔凈度和高強度，獲得廣大TEM和同步輻射研究人員的高度好評。公司已申請十余項發明、實用新型專利。未來還將推出多款新型MEMS芯片。
公司已與多家研究所、大學、醫療、工業、智能裝備等行業的企事業單位建立了良好的合作伙伴關系。憑借國內領先的核心技術，公司成員齊心協力，致力于成為世界領先的生物MEMS技術公司。為更好的世界，提供更好的芯片！
①光刻
電子束光刻、最小線寬：50nm（成熟）
投影式光刻、最小線寬：350nm
接觸&接近式光刻、最小線寬：1um（可背面套刻）
②模板制作（微流控芯片模板、納米壓印模板等）
模板規格參數可定制，硅、石英玻璃、SU8、PMMA、砷化鎵、氮化鎵等
③封裝技術
封裝：TSV封裝、TO封裝、其它硅基封裝等
切割：DISCO切割、隱形切割、激光打孔等
鍵合：硅-硅鍵合、硅玻璃鍵合、玻璃-硅-玻璃多層鍵合技術
④鍍膜技術
非金屬材料：SiO2、SiNx、a-Si、MgF2、ITO、TiO2、Ta2O5、ZrO2、Al2O3等
可根據不同需求，對所需鍍膜材料進行制作和參數測試
⑤器件設計與加工
流道器件、懸臂梁器件、高精度掩膜版、引線封裝
1.同步輻射氮化硅薄膜窗口
同步輻射掃描透射電子顯微技術（STXM）中的生物樣品支持膜
2.TEM氮化硅薄膜窗口
透射電子顯微鏡（TEM）樣品桿的支持載網
TEM氮化硅膜單窗口和多窗口產品主要用于TEM（透射電鏡）樣品桿的支持載網，實現生物或材料樣品在電鏡下的高分辨表征
微孔窗口由先進的MEMS工藝制造，可實現納米管、二維材料和其他納米樣品的無襯底觀測
3.納米孔氮化硅薄膜窗口
應用于長序列、低成本、單分子高通量的DNA測序技術
4.原位液體芯片
實現納米樣品液體環境下實時動態觀測
液體芯片可應用于以下研究分析：
TEM、SEM和拉曼等設備的液體環境樣品觀測和分析
原位化學反應觀測、晶體生長和腐蝕原位研究
觀測研究液態環境中的活細菌和細胞等生物樣品
5.定制氮化硅薄膜窗口
定制化MEMS技術解決方案實現更多的科研創新
定制類型主要包括大窗口、多窗口氮化硅膜、原位加熱芯片、電極芯片、原位電化學芯片和氮化硅膜懸臂梁器件等
