利用MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片，通過“變溫微稱重法”，定量提取功能材料與氣體分子發生吸附時，表界面分子作用熱力學和動力學參數的科學分析儀器。

該儀器及工作原理均為世界首創，可以定量獲取決定功能材料吸附性能的本質參數，如焓變、吉布斯自由能變化、活化能、熵變等，對于研究材料吸附機理、指導材料性能優化、預測材料應用方向等方面有重要的意義。

使用MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片作為敏感元件，研究功能材料氣敏性能的分析工具以及高性能氣敏傳感器的開發與測試平臺。通過將不同的氣敏材料負載到微懸臂梁傳感芯片上，可以形成多種多樣的質量型氣敏傳感器。當傳感器對目標氣體發生吸附作用時，引起的微小質量改變可以被微懸臂梁氣敏測試系統實時感知和測量，從而實現對目標氣體的定量分析與測試。由于MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片具有超高的質量檢測靈敏度，因此該儀器可實現對ppb甚至ppt量級氣體的痕量檢測，是研究氣敏材料和氣敏傳感器的新利器。

以MEMS自加熱諧振式微懸臂梁傳感芯片為核心，替代傳統的天平+爐管加熱方式，實現片上熱重分析功能。該儀器的工作原理為世界首創，與傳統儀器相比，除了體積更小巧外，具有分析速度更快、靈敏度更高、樣品消耗量更少、升溫速率和傳質影響小、可快速升降溫等優點，可廣泛應用于各類材料的研究開發、工藝優化與質量監控等領域。